二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9173487 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一種掩模對齊器，又稱步進器。它主要用於光刻工藝，用於將輻射敏感材料的圖樣精確沈積到基板上。MICROTEC MA6步進器由底座、底座模塊、真空卡盤和圖案頭組成。KARL SUSS的底座MA-6容納機器內的所有元件。它持有x、y和z軸，以及板控制卡，以及用於管理系統的控制櫃、視覺設備和幹涉儀。底座模塊包含一個升降臺，用於在真空卡盤和放置在外部地板上方的晶圓環之間運輸基板。真空卡盤由多根柱子組成，卡盤可以固定在多根柱子上。它們包含機械銷釘和傳感器,用於精確固定基板以進行加工或對準。MA-6還包含一個圖樣頭，它本質上是一個帶有激光輻射源的機器人手臂。激光束用於將圖樣沈積到基板上，基板通過專門的軟件程序寫入材料上。KARL SUSS/MICROTEC MA6具有高度精確的精細聚焦步進余量，確保根據設計規格在基板上精確打印圖樣。它還具有一些先進的功能，包括圖樣頭和基板之間的微米級對準、具有內置顯示器和成像功能的視覺單元、允許基板旋轉的旋轉板以及最先進的照明機器。有了MA6，可以在一次運行中處理多個基板，通過使用多個圖樣頭可以同時暴露一系列基板。MICROTEC MA 6通常用於光刻工藝，用於將輻射敏感材料的圖樣精確沈積到基板上。適用於半導體器件制造、醫療器件技術、柔性電子、微電子產品制造等廣泛應用。其突破性的技術特點和易用性使其成為光刻設施的可靠、經濟的選擇。