二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-21 #9167004 待售

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ID: 9167004
Double sided mask aligner (2) 350 Watt lamp houses UV 400 Optics (2) Internal sensors: 65nm / 405nm SUSS Split-field bottom side microscope: (2) 150 Watts fiber optic microscope illuminators (2) 10x Objectives (2) 10x Eyepieces Proximity Soft contact capable Soft contact chuck (2) Mask holders Manuals.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-21是一種堅固可靠的掩模對齊器,用於將光刻創建的掩模圖樣精確定位和對齊到基板上,用於半導體器件的制造。它具有靈活的設計,可以容納各種尺寸和形狀的基板。MICROTEC MJB-21制作分辨率為0.25 μ m、精度為2 μ m的高質量圖像,使開發人員能夠為開發高性能設備制作復雜的功能。掩模對準器利用6英寸獨立鏡頭設備和連續可變ρ-z級,通過精確的X、Y和Z軸運動精確控制光對準。高分辨率液晶屏允許用戶在曝光前檢查和校正蒙版圖案的對齊方式。該系統還包括內置軟件,該軟件具有高級對齊功能,可優化圖像放置。KARL SUSS MJB 21的堅固結構確保了在長期精度和可重復性至關重要的生產環境中可靠地存儲和傳輸掩模對齊器。該設備使用穩定的控制面板界面,允許用戶選擇為設備制造過程量身定制的曝光配置文件,並通過CMOS傳感器對圖像數據進行認證。此外,通過防止鏡頭機受到汙染的護罩采取了安全措施。MICROTEC MJB 21能夠產生<10 μ m的器件尺寸和大於1 μ m的可重復性,非常適合制造先進的半導體器件。
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