二手 KLA / TENCOR 2438 Viper #9399303 待售

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ID: 9399303
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
Macro defect inspection system, 12" Review module (3) Load ports Wafer transfer robot 2008 vintage.
KLA/TENCOR 2438毒蛇面膜和晶圓檢測設備是一種最先進的、基於視覺的檢測系統,旨在滿足微電子行業的苛刻需求。KLA 2438 Viper提供了卓越的檢測精度和高吞吐量,實現了最先進的過程控制和可靠性要求。TENCOR 2438 Viper單元的主要部件包括高分辨率數碼相機、高精度機器人舞臺、ImageTool軟件和控制硬件。相機的500萬像素CMOS傳感器收集口罩和晶片的高分辨率圖像,像素大小為2.6 µm。機器人級可以在整個檢查區域精確移動樣品基板,並利用自動校準來確保準確性和可重復性。其先進的ImageTool軟件是一套集成的自動檢查和測量算法,旨在快速、精確地評估掩模和晶片的缺陷、磨損以及其他導致屈服損失和不均勻的特性。該軟件具有直觀的圖形用戶界面、可自定義的運行時配置文件,用於快速、可重復的檢查,以及與下遊分析和審閱工具的集成。2438 Viper機器中的控制硬件包括直觀的用戶界面、運動和編碼控制、工具安全管理以及集成的本地和遠程診斷。軟件的警報和報告功能會提醒用戶異常,並允許對資產性能進行深入分析。KLA/TENCOR 2438毒蛇掩模和晶片檢驗模型提供了有關晶片產量、缺陷和工藝性能的可靠、詳細的機器生成信息。它的自動化功能減少了操作員的手動幹預,確保了快速、可重復的檢查性能,並且其高分辨率的成像和分析功能能夠進行徹底的分析和閉環反饋,從而改進過程控制並提高產量。
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