二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9276005 待售
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已售出
ID: 9276005
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Overlay inspection system, 12"
With ASYST IsoPort load port, P/N: 9700-9129-01 Rev K
Dual load ports EFEM
With ASYST IsoPort
Signal light tower
BROOKS AUTOMATİON Handler with pre-aligner and robot
SBC Controller
Robot controller
Handler
Pneumatic box
Z-Stage
Optic
Computer
Monitor
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Printer
EMO
Shelf
Keyboard
Mouse
Missing parts:
I/O Interface board
Floatation controller
Motion controller
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase
2004 vintage.
KLA/TENCOR Archer 10 XT是一款為提高片上缺陷檢測性能而開發的高端掩模和晶圓檢測設備。KLA ARCHER10XT旨在為缺陷檢測提供更高的吞吐率和更高的靈敏度。TENCOR ARCHER 10XT利用場效應晶體管掃描儀(FETS)實現了對納米尺寸缺陷的靈敏度,並獲得了亞微米分辨率的數字圖像。它配備了先進的高速掃描儀和成像技術模塊,可以對晶片進行連續成像,同時將吞吐量速率提高到每小時20個晶片。KLA Archer 10 XT提供了先進的掩模模式識別功能,可實現半導體晶片的自動模式識別。先進的對齊技術確保掩模圖樣和晶圓圖像的精確對齊,以準確識別缺陷。該系統采用高性能CCD陣列和先進光學器件,提高了圖像采集和缺陷檢測精度。該單元還包括一臺精密的圖像處理機,其設計目的是根據預先定義的標準對缺陷進行檢測和分類。此功能允許根據行業指南改進缺陷檢測和分類。高級信號處理技術用於表征缺陷類型並確定適當的響應以采取行動。TENCOR ARCHER10XT提供了一個用戶友好的界面,並且與fab控制軟件等計算機輔助工具完全兼容。此外,該工具可與父級和上遊系統集成,以實現無縫、自動化的數據收集和分析。該資產還允許集中管理檢查作業和數據記錄,以實現高級報告和數據管理功能。與傳統的檢測系統相比,ARCHER 10XT提供卓越的分辨率、更快的吞吐量和更高的靈敏度。對於需要高性能和精確故障檢測的半導體制造商來說,這種模型是理想的選擇。
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