二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9379085 待售

KLA/TENCOR Archer 10 XT是一款高性能、自動化的掩模和晶圓檢測設備，旨在滿足最苛刻的半導體生產工藝的先進光刻需求。該系統具有先進的光學成像和檢測裝置，可提供高分辨率成像細節以及晶片和掩模上的圖樣和缺陷的精確分析。該機器包括一個集成的彩色圖像處理攝像頭，可以同時捕獲亮場和暗場圖像，從而能夠準確檢測缺陷。KLA ARCHER10XT還擁有多種綜合計量工具，包括雙能量顯微鏡和一系列自動缺陷分類工具。這些工具為檢查關鍵特征（如線條和空格）、側壁角度和隔離提供了高精度。該工具還具有精確的誤差圖分析測量能力，包括過噴霧、粒子沈積和光致抗蝕劑殘留物。它還具有高級自動化功能,允許流程工程師在用戶幹預最少的情況下對自動化的自定義檢查例程進行編程。此外,TENCOR ARCHER 10XT還具有一系列可選功能,包括用於精確晶圓定向的自動對準資產和用於改進掩模缺陷檢測的組合散射法/環形暗場模型。它具有健壯的計量體系結構，圍繞三個獨立的測量軸構建，提供高精度和可重復性。它還具有用戶友好的觸摸屏圖形用戶界面,便於導航。TENCOR ARCHER10XT將久經考驗的KLA成像和檢測技術與一系列高性能的機器特性相結合，為掩模和晶圓工藝控制提供了可靠而全面的解決方案。它旨在以高吞吐量運行,有助於減少周期時間和提高生產效率。KLA Archer 10 XT具有先進的功能集和可靠的性能,是半導體生產過程中的理想工具。