二手 KLA / TENCOR Archer AIM #151422 待售
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已售出
ID: 151422
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Overlay inspection system, 12"
Front end only
(2) ASYST 300mm IsoPort load-ports:
PN: 9700-9129-01 rev J
SW ver: 5206-2702-0800
Brooks PRE-300B-U-I-CE-S2 pre-aligner:
KLA PN: 0029191-000
Brooks robot handler:
3-axis, single arm, single blade / end-effecter
Mini-environment with HEPA filter
CE marked
2006 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM是一種自動掩模和晶片檢查設備,具有多種專門設計的功能,以確保晶片的質量和規格得到維護。它能夠確保不存在任何可能以任何方式危害晶片質量的關鍵缺陷。KLA Archer AIM使用先進的光學、高質量的目測技術和優越的計量能力,以確保所有缺陷都得到準確的識別、量化和分類。這有助於提高芯片產量,降低芯片故障風險。TENCOR Archer AIM附帶了MetaSuite™、Image Coach、ProPerf、SuperTronics、BitMap、AIM-Scan和AIMTest等一套功能強大的軟硬件。MetaSuite ™可闡明掩碼和晶片陣列中的缺陷,而AIM-Scan則使用高級算法來確保陣列布局完全準確。Image Coach是一種3D檢查工具,用於測量缺陷的形狀和大小。BitMap快速映射出缺陷形狀和大小,以便傳送到數據庫。ProPerf是一個性能模塊,可快速準確地評估晶圓表面的性能。SuperTronics工具與ProPerf結合使用,以確保晶圓的電氣特性也是正確的。AIMTest是一個半自動測試系統,在晶圓的制造過程完成後對其進行檢查。Archer AIM還能夠提供缺陷密度信息,如位置、大小和形狀。這有助於識別可能導致產量損失的微觀和宏觀缺陷。此外,該單元還具有豐富的用戶界面和靈活的自定義選項,用於可視化、數據分析和快速原型設計。總體而言,KLA/TENCOR Archer AIM是晶圓和掩碼檢查的強大工具,它配備了高圖像分辨率、缺陷分析和有關晶圓的全面信息的功能。此外,它的高端模塊化軟件和硬件使它成為一個高度定制和可靠的機器。
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