二手 KLA / TENCOR Archer AIM #64588 待售

KLA/TENCOR Archer AIM是一種自動化直觀的掩模和晶圓檢測設備,旨在實現快速、可靠和高性能的掩模檢測。該系統被設計為一種快速高效的工具，能夠在缺陷變得關鍵和昂貴之前發現和糾正缺陷。它旨在以更高的分辨率和更少的缺陷提供增強的性能。該裝置能夠檢測和糾正光掩模中的缺陷以及光刻（晶片）缺陷。它設計為用戶友好,使非專家能夠快速輕松地執行自動化的例行任務,並在發現缺陷時快速檢測和糾正缺陷。該機配備了廣泛的自動掩模檢測能力，如缺陷成像、簽名分析、分類量化、缺陷分類分析和模式識別等。它還包括最新的狹縫掃描成像和對準，能夠捕捉光掩模和光刻水平上的缺陷。該工具旨在檢查正面和負面的光掩模布局,並能夠在1 x nm到5xnm分辨率的尺度上查找和糾正錯誤。它還能夠檢測廣泛的缺陷，從顆粒、不透明的異物和灰塵到針孔、圖樣缺陷和錯位。該資產能夠檢測和糾正介質缺陷（即在現場可見或已檢測到的缺陷和大缺陷）,以及在其他不可見的模式缺陷範圍內的缺陷。該模型還配備了一套靈活的成像工具,使每一個掩模層都能以可用的最高分辨率進行查看。該工具還能夠根據需要在密集填充區域和間隔區域之間轉移焦點,並進行縮放以使用戶更仔細地查看受影響的區域。該設備還提供內置故障管理和日誌記錄功能,使用戶能夠快速輕松地查看所采取的糾正措施以及有關自動檢查結果的數據。該系統還能夠提供外地新缺陷信息的快速更新，並生成報告供進一步分析。最後，該單元的設計目的是為檢測和糾正缺陷提供成本效益最高的解決方案，提供培訓、軟件更新和系統維護等一整套服務。該機也具有很高的可擴展性，必要時可以輕松升級。