二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9097080 待售

KLA/TENCOR Archer AIM是一款創新的掩模和晶圓檢測設備，提供先進的缺陷檢測、粒子表征和精密晶圓級圖像分析。KLA Archer AIM使用高分辨率相機，加上先進的圖像處理軟件，創建了光掩模和/或晶圓表面的完整3維表示，允許精確的缺陷檢測、精確的圖像分析和精確的粒子表征。TENCOR Archer AIM支持精確的編輯和缺陷映射功能,並提供全面的晶圓映射。這張地圖被用戶用來跟蹤和分析晶圓表面發現的缺陷和顆粒的位置、形狀和大小。通過精確測量和跟蹤缺陷幾何形狀,Archer AIM是提高高級節點設備缺陷耐受性、降低排泄率和提高產品產量的強大工具。獨特的是，KLA/TENCOR Archer AIM的光束剖面分析系統還利用先進的光束移位技術和專門設計的光學器件來測量光束的尺寸、指向和散光。這是通過顯示一系列不同的斑點（稱為「斑點種群」）來完成的，這些斑點代表可能存在的所有不同類型的缺陷。KLA Archer AIM利用這一光束剖面特征，能夠準確、快速地診斷叠加精度問題以及擴散光刻問題。TENCOR Archer AIM還有一個粒子計量學單元，使用快速掃描的相機，加上多種影像感應器，快速準確地確定掩模和/或晶圓表面上粒子的大小和形狀。通過一步步結合對不同類型缺陷的多次檢查，有助於減少檢查周期時間和總擁有成本。Archer AIM配備了集成的數據可視化機器,允許用戶查看和評估缺陷性能和控制趨勢,以及分析過程漂移,以幫助推動產量提高。該工具旨在幫助設備制造商實現收縮、提高設備性能和啟用新流程節點的目標。綜上所述，KLA/TENCOR Archer AIM是一種先進的掩模和晶圓檢測資產，提供精確詳細的缺陷檢測、粒子表征和精確的晶圓級圖像分析。KLA Archer AIM通過啟用編輯和缺陷映射、光束剖析和粒子計量,是提高設備制造產量的強大工具,使其成為設備制造商的寶貴工具。