二手 KLA / TENCOR PLLAD Assy for 2138 #9254103 待售

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KLA / TENCOR PLLAD Assy for 2138
已售出
ID: 9254103
2138的KLA/TENCOR PLLAD Assy是一種精密、高通量的掩模和晶圓檢測設備,專為先進的微加工工藝而設計。該儀器提供了一種自動解決方案,用於以高分辨率檢查光掩碼、標線和電路晶片。它是一種全面、高通量的解決方案,可應對高端光刻和關鍵設備制造的挑戰,支持膠片和非膠片設備。KLA PLLAD Assy for 2138采用獨特的專利雙平面激光模模對準(DPLAD)系統,可精確對齊和比較相鄰的相同結構(低至20nm間距,無需手動調整或校準。PLLAD提高了精度,為精確的薄膜缺陷審查和晶圓級檢查提供了更大的靈活性。此外,PLLAD確保用戶能夠以盡可能高的分辨率執行高度精確的測量。TENCOR PLLAD Assy for 2138由一套綜合算法和集成硬件進一步增強,旨在提供多層分析和審查。高級功能包括一系列最高精度的測量,如CD和陣列測量,以及關鍵缺陷識別。該單元能夠提供總缺陷分析和管理,包括嚴重缺陷、異物顆粒、納米尺度顆粒、異常特征、攝影缺陷、圖案誤差。此外,PLLAD 2138還包括用於缺陷報告和成像的全面診斷功能。除了復雜的功能套件外,PLLAD Assy for 2138還提供用戶友好的體驗。它采用了簡單明了的手動控制面板,配有符合人體工程學的夾具夾具和經過校準的電動舞臺運動,以實現最佳的生產效率。集成的觸摸屏界面迎合了不同的用戶水平的熟練程度,機器可以很容易的針對特定的應用進行編程。總體而言,KLA/TENCOR PLLAD Assy for 2138為先進的微加工工藝提供了出色的產品檢驗解決方案,允許用戶應用最高精度的測量來確保產品質量。其全面的檢測能力和人性化的設計,使其成為高端光刻和器件制造行業制造商的理想選擇。
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