二手 KLA / TENCOR SP1 #9407601 待售

KLA/TENCOR SP1是一種掩模和晶片檢測設備，設計用於幫助檢測半導體制造過程中光掩模和晶片上的缺陷。該系統利用傳感器技術、成像系統和數據分析技術，獲得晶圓或掩模表面上存在的各種結構以及晶圓原始特征的最精確、高分辨率圖像。這些系統有各種配置，可提供各種成像能力和功能，例如：叠加測量；面罩對齊；CD-SEM；Critical Dimension scanning；微排泄率測繪；CD和叠加CD控制；掩蔽和OPC控制；掃描數據與CAD的比較；和缺陷檢查。KLA SP1單元配備了四個不同的成像傳感器：兩個電子束探測器、一個掃描激光探測器和一個焦點束探測器。電子束探測器產生高精度圖像，能夠精確分析表面的微小特征和缺陷。掃描激光探測器產生較大結構的圖像，有助於檢測表面缺陷和檢查晶片或掩模的一般狀況。最後，聚焦光束檢測成像的精細結構，具有所有成像傳感器最高的精度聚焦能力。機器還配備了智能數據分析包，幫助操作員更好地詮釋這些成像傳感器產生的圖像。這個高級分析包采用各種算法和技術來識別圖像內的各種特征和變化，然後提供簡化檢查過程的輸出。它在檢測不同層次的細微變化和缺陷時特別有用，如表面地形和子單元特征。通過Advanced Process Control （APC）工具進一步增強了TENCOR SP 1工具生成的數據,這些工具可幫助操作員和工程師識別缺陷、預測問題並執行復雜的分析任務。這可以提高生產和檢驗產量，降低成本，優化半導體制造過程中的工作流程。SP 1資產被用於許多半導體器件生產線，並被證明是管理缺陷關鍵半導體制造過程的可靠而強大的工具。它是實現盡可能高的產量和最大限度地提高投資回報的寶貴工具。