二手 KLA / TENCOR Terascan SL 536 #9363034 待售

KLA/TENCOR Terascan SL 536是針對半導體制造行業的一系列應用而優化的最先進的掩模和晶圓檢測設備。其專利陣列圖像傳感器和先進光學器件設計用於檢測和分析各種掩模和晶片基板上的最小缺陷源，包括矽片、薄膜太陽能電池、光掩模和標線。高速、高分辨率的KLA Terascan SL 536提供了無與倫比的精度和可靠性級別,甚至檢測到最復雜的缺陷站點。該系統能夠使用高精度幹涉測量、CCD和CMOS技術在整個晶片上同時測量高達512 μ m。其獲得專利的1.5X圖像放大倍率和先進的照明裝置確保TENCOR Terascan SL 536為最高的SNR和最詳細的成像提供分布式照明。Terascan SL 536還具有自動粗糙對齊和掃描站,可高效處理各種晶圓類型和形狀。其晶片級定位和對準數據使其能夠錯誤映射晶片表面以確定檢測到的缺陷的確切位置。它配備了高級模式識別功能,可自動識別已知的掩碼以進行全自動缺陷檢測。其先進的軟硬件工具采用高速數據處理算法，快速準確地檢測錯位、波紋、凹坑、亮點、空隙等各種缺陷。KLA/TENCOR Terascan SL 536用戶友好的GUI簡化了操作過程,因此用戶可以快速獲取所需信息。符合人體工程學、高分辨率的觸摸屏界面允許用戶輕松交互,並且機器能夠安全傳輸數據,以便在工廠和設施之間快速共享信息。KLA Terascan SL 536效率高，在數分鐘內分析口罩和晶片。它提供了最佳的圖像質量,確保提高了生產效率,提高了缺陷檢測,並提高了批量生產的產量。