二手 RIBER 32 #9285342 待售

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製造商
RIBER
模型
32
ID: 9285342
Systems.
分子束外延(MBE)是一種用於在基板上生長半導體和其他材料的技術。RIBER 32,由RIBER SA生產,是為先進復合半導體器件制造而設計的高性能MBE設備。它配備了兩個UHV(Ultra High Vacuum)模塊,每個模塊包含一個晶圓處理系統和兩個源船。這使得它適用於廣泛的材料和基材。32為其沈積和蒸發室提供模塊化設計。每個模塊都可以根據材料沈積過程進行定制。有各種各樣的工藝控制選項,包括氣體供應、壓力和溫度控制。該機組還配備了快速冷卻烤箱,能夠在沈積後將基板快速冷卻到室溫以下,在材料生長過程中提供卓越的質量控制。由於兩艘源船允許同時蒸發,沈積率高,減少了與裝置制造有關的時間和成本。此外,該機器還具有先進的能量響應能力,可以在沈積前精確控制入射能量。兩個特高壓模塊連接到一個綜合分析單元(IAU),允許對生長過程進行原位分析。IAU包括多種成分,如原位反射率-吸收-光譜儀(RAS)、橢圓偏振儀和四極質譜儀。這些組件可用於實時監測材料的生長並優化材料性能。總體而言,RIBER 32提供了高級設備制造所需的高性能沈積功能和用戶友好界面。該工具具有多源船設計、快速冷卻爐和現場分析功能,是制造復合半導體器件的理想選擇。
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