二手 RIBER CBE-32 #9212374 待售

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製造商
RIBER
模型
CBE-32
ID: 9212374
Electron beam evaporator.
RIBER CBE-32是一種分子束外延(MBE)設備,旨在提供晶體結構的亞微米級分辨率。這項技術已被用於廣泛的研究,包括半導體和納米材料。這個MBE系統由一個40度的終極真空室、一個高精度的沈積室和一個詳細的控制單元組成。適用於III-V半導體、II-VI復合層等材料的生長。終極真空室設計的氫氣泄漏速率為1x10-9毫巴/秒,底壓為1x10-9毫巴。它配備了一系列優化樣品處理的功能,如超高真空門閥、傾斜樣板級、快門、機械手、石英晶體監控器(QCM)和微型電子回旋共振(ECR)源。這個腔室還包含兩個24 x 30英寸的多口袋源積液細胞,允許同時連續暴露多達五個源。沈積室具有三軸線性傳遞機和閉環運動控制軟件。該腔室的設計使氧化率保持在0.3%以下,並提供可重復、精確的運動控制,使逐步制造具有較高的位置精度。最後,MBE工具包含了詳細的控制資產,允許為每個單獨的沈積過程定制各種參數。控制模型具有圖形功能和用戶配置文件,在沈積過程中易於跟蹤和修改參數。總體而言,CBE-32分子束外延設備提供了一個理想的平臺,以沈積高質量的納米尺度特征。參數的定制和運動控制系統的準確性使得材料沈積水平達到前所未有的水平,使其成為研究的寶貴工具。
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