二手 VARIAN / VEECO GEN II #9257237 待售

VARIAN/VEECO GEN II是為超導體、半導體、鐵磁學等低溫器件的生長而設計的分子束外延（MBE）設備。它由一個特高壓（超高真空）室、一系列沈積源和一組質量分析儀組成。特高壓室的設計目的是在低於2 x 10^-7 Torr的壓力下維持其內部環境，遠低於常規實驗室的可用壓力。這樣做是通過保持室內完全沒有顆粒物，同時依靠泵和連續氣體的結合來維持低壓。然後由控制系統監視和管理室內的粒子計數。腔內的沈積源允許GaAs、InP、Si、Ge等材料的受控生長。這些源由多艘石英船（固體源）組成，這些船靠在加熱器上以保持設定溫度和電阻蒸氣源。這些船在x、y和z平面上是可調的，允許對層厚度進行微調。使用熱電偶裝置精確控制船的溫度，校準為低於200 °C。質量分析儀用於殘余氣體分析或室內源的直接通量測量。它由各種電離源組成，這些電離源通過差動泵送的側端口直接與特高壓室連接。此工具可以偵測到O2、H2O、空氣等多種物種。特高壓室、沈積源和質量分析儀都連接到計算機操作站。該站包含一個數據采集資產和一個控制接口，允許整個沈積過程的自動化。該模型具有七種配方控制配方和廣泛的可自定義參數，使其適用於種類繁多的基材材料和器件類型。VEECO GEN II是先進的MBE設備，仍然是許多低溫裝置領域研究人員的選擇。它強大的UHV要求、沈積源和氣體分析能力相結合，可以進行廣泛的設備相關實驗，使其成為研究和設備制造的寶貴工具。