二手 VARIAN / VEECO GEN III #9239247 待售

VARIAN/VEECO GEN III是一種先進的分子束外延（MBE）系統，用來將薄半導體膜沈積在各種底物上。它由四個相互連接的腔室組成，配置為執行低溫同外延生長、氧化物和氮化物，以及其他先進的外延過程。第一室容納一個多調試器源。它配備了多達六個單獨隔離的水平或調試資源，以防止其他材料汙染基板。多源可以在電流、功率和頻率上變化，以適應所需的沈積過程。該室還配備了電子束快門、隔熱罩、肖特基抑制器等必要的源配件。第二個腔室包含基板支架，是一個垂直旋轉組件，最多可容納四個基板。它還裝有一個負載鎖，樣品可以加熱到-100 °C至800 °C的溫度，以便進行先進的生長過程。兩個帶快門的操縱器和一個主快門用於保護基板，而調平器確保均勻的基板加熱。第三室為生長室，配有加熱燈絲、八個氣體噴射器和一條冷凍線。燈絲的設計目的是為300至900°C的生長溫度提供必要的能量。氣體噴射器連接到氣體面板，用於將源氣體和摻雜氣體輸送到生長室。冷凍泵送管線用於通過抽出殘留氣體來維持低背景壓力。第四個腔室是結果腔室，所得到的薄膜是特征的。該室配有用於物種鑒定的四極質譜儀（QSMS）和用於成分分析的殘留氣體分析儀（RGA）。它還包括一個自動樣品轉運站，用於在一個單獨的光顯微鏡室內檢查晶片。VEECO GEN III是為運籌學目的而設計的先進MBE系統。它的多個腔室、最先進的組件,以及先進的增長過程的可用性,使該系統成為高通量沈積和過程開發的理想之選。