二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Hart AP #9177851 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Hart AP
已售出
ID: 9177851
晶圓大小: 12"
Deep trench etch, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Hart AP是一種高功率等離子體蝕刻反應器,設計用於半導體制造應用的卓越性能。這種高性能的等離子體蝕刻反應器能夠每次產生精確和可重現的蝕刻結果。其尖端的設計使它能夠以卓越的重復性和晶體管級精度提供結果。AMAT Centura Hart AP由一系列機械元件、電子元件和先進的等離子體工藝套件構成。它利用靜電卡盤精確安裝和蝕刻目標材料。反應堆還配備了一系列傳感器,可在整個蝕刻過程中提供準確的讀數,從而實現最佳的工藝控制。反應堆設計有多個泵以達到反應室中合適的氣氛。它還具有帶噴氣噴嘴的真空系統,以及離子探測器和發射監測口,以進一步優化腔室條件。APPLIED MATERIALS Centura Hart AP的蝕刻工藝能夠實現廣泛的蝕刻因子和輪廓形狀。反應堆包括了最新的等離子體晶片加工技術,如「多點基板分析」對準,以確保提高蝕刻結果的可重復性。其先進的監控系統可以在操作過程中額外診斷性能問題,允許用戶快速調整參數以提高效果。Centura Hart AP設計為環境友好型反應堆,最大限度地減少排放,並利用生態友好型操作規範。此外,它的高級材料處理計劃使用戶能夠以最少的耗材使用,自信地蝕刻無毒、節能和高性能的材料。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Hart AP是半導體制造中多種先進和微調應用的理想解決方案。其高性能蝕刻能力和可靠的工藝可重復性確保了高精度的生產。該反應堆提供優異的性能,經濟運行,對環境的影響最小,使其成為現代制造工藝的首要選擇。
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