二手 KLA / TENCOR SFS 6420 #9017662 待售

KLA/TENCOR SFS 6420晶圓測試和計量系統是一種用於測量和分析先進半導體技術器件的最新系統。KLA SFS 6420構建在一個集成的硬件和軟件平臺上,該平臺提供了多種檢查工具,以實現強大的過程控制和產量管理。TENCOR SFS 6420利用300 mm晶圓檢測工具來測量和分析多種參數，包括缺陷檢測、拓撲特征、掩碼對齊、叠加精度等。它能夠分析厚度從200 μ m到12.6 μ m的晶片，並將其裝載到機械臂上進行分區和移動。利用尖端光學技術，SFS 6420能夠評估高分辨率模具圖和任何其他拓撲特征。KLA/TENCOR SFS 6420的缺陷檢測技術，能夠檢測和識別感興趣的特征，如位錯、晶粒、顆粒、形狀不規則的凹坑或孔，特征太小，肉眼無法解決。其高靈敏度還允許檢測加工過程中引入的微小顆粒。KLA SFS 6420可以捕獲晶圓表面的細分，以便進一步分析和評估缺陷大小和密度。在測量掩模對準和覆蓋精度時,TENCOR SFS 6420利用強大的覆蓋計量方法來評估同一晶片上兩個特征之間或兩個不同晶片之間的對準參數變化。它能夠檢測不同結構之間的微妙錯位，在常規光學顯微鏡下不可見。這將立即提供層之間變化的反饋,並有助於確定故障分析或產量改進的任何處理問題。SFS 6420的軟件平臺WinSFS確保了對測量過程的全面控制，從配方參數設置到測量結果的顯示。它還為進一步的數據處理提供各種數據采集和分析工具。此外，其用戶友好的界面使得它容易訪問晶圓檢查和計量需求。綜上所述，KLA/TENCOR SFS 6420晶圓測試計量系統是一種先進的測量工具，能夠對晶圓進行高分辨率和精確度的分析。其綜合軟件平臺為控制檢驗計量過程、缺陷分析、提高產量提供了用戶友好的體驗。