二手 DNS / DAINIPPON 80B #9053623 待售

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製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80B
ID: 9053623
System Track interface for NIKON stepper, 5".
DNS/DAINIPPON 80B是一種工業標準的高精度光刻設備,專為光刻工藝而設計。它是專門為便利用於制造集成芯片和其他電子設備的高分辨率光刻和成像工藝而開發的。該系統利用高效的感知過程來提高圖像分辨率,這在涉及口罩和其他微圖案材料的過程中特別有用。該單元利用光和化學過程的組合,以創建模式和轉移到基材。首先,將金屬層組成的光掩模置於基板上方,並暴露在紫外線下。這激活了光致抗蝕劑的化學吸附層,該層與暴露的光選擇性反應。隨著曝光的進行,光被光致抗蝕劑選擇性吸收,而剩余的未吸收區域則保持不變。在暴露過程之後,使用第二個化學步驟將暴露的圖樣轉移到基材上。這通常是使用顯影劑解決方案來完成的,顯影劑有選擇地去除暴露的光刻膠,同時保持未受影響的區域完整。根據正在加工的底物材料的類型,還可以使用溶劑、酸或堿溶液等其他材料。利用光激活曝光和化學去除相結合,以便有效地將在光掩模中產生的圖樣轉移和操縱到所需的基材上。此外,DNS 80B機還包括額外的機制,以進一步完善模式的準確性和分辨率。例如,該工具包括一個內置的高精度對齊工具,它允許對過程進行精細調整,同時還提供自動化功能,以便於陣列跟蹤。總體而言,DAINIPPON 80B光刻資產是需要高分辨率成像結果的光刻工藝的絕佳選擇。它結合了光和化學過程,以無與倫比的準確性和可重復性有效地傳遞了精確的圖樣,而其內置的特性則進一步增強了過程。因此,對於任何需要高精度模式的行業或研究環境,模型都是必不可少的工具。
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