二手 DNS / DAINIPPON 80B #9257470 待售

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DNS / DAINIPPON 80B
已售出
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
80B
ID: 9257470
System.
DNS/DAINIPPON 80B是DNS屏幕制造有限公司生產的先進光刻設備。該系統設計用於半導體器件加工,包括光刻塗層基板、光掩模和光源等幾個組件。該單元能夠生成用於設備處理的高分辨率模式,分辨率為12 µm。它還能夠產生細節非常精細的圖案,如0.25 µm。該機還可以設置為同時處理多達10個基板,節省時間和精力。工具的光敏塗層基板塗有含有光敏材料和酸源材料的液體。當底物受到紫外線照射時,這些化合物發生反應,酸源物質分解,導致在底物上發展出光致抗蝕劑圖樣。資產中使用的光掩碼包含一個掩模模式--一系列的形狀--這決定了模型產生的最終模式。遮罩圖案設計為允許光線在某些區域通過,在其他區域阻擋。設備使用的光源紫外線輻射波長為365nm。基板經受光源,然後用顯影劑溶液顯影,形成光刻膠圖案。系統產生的最終模式隨後被轉移到基板上。DNS 80B光敏裝置已被證明是半導體器件加工的有效工具。它能夠產生精細細節的高分辨率圖樣,可以設置為同時處理多個基板。本機是半導體器件生產過程中的重要組成部分。
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