二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9221786 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURY是一種用於減法蝕刻工藝的光刻設備。該系統使用一系列光學元件在基板表面創建均勻、精確的遮罩圖案。光致抗蝕劑是一種感光膜，可以施加在基板上並暴露在強烈的光源下。光源可以是紫外線，也可以是可見光，這取決於所使用的光敏材料的類型。然後用化學顯影劑或熱板顯影劑開發暴露的光致抗蝕劑材料。然後在蝕刻過程中將顯影的抗蝕劑模式轉移到底層基板上。FSI Mercury能夠在各種材料如矽、石英和金屬中產生精確的三維圖案。該單元使用無掩模步進器將掩模精確定位在基板上。這種定位的精確度允許創建極精細的分辨率模式。此外，步進器的精度確保產生的抗蝕劑模式將是一致的和可重復的。該機還使用了多種成像光學器件，包括ameroid、投影和二極管激光器，以確保基板的精確光學成像。這使得產生的晶圓表面圖樣具有很高的分辨率。此外，集成的全局照明映射可確保晶圓的所有表面均勻一致地暴露。TEL Mercury還具有多種工藝控制，包括溫度、壓力和化學溶液，以允許大量的抗蝕劑開發和蝕刻工藝。這一系列的工藝控制允許用戶輕松地為金屬、石英、多晶矽和IC等材料配置蝕刻工藝。此外，Mercury還配備了一系列軟件工具，旨在簡化蝕刻過程。這些工具提供成像和蝕刻參數的數字監測和控制，有助於確保產生最佳模式。此外,該工具還包括自動抗蝕劑開發以及保存和存儲針對特定用戶需求的配方等功能。總體而言，TOKYO ELECTRON MERCURY是一種光致抗蝕劑資產，旨在為各種蝕刻工藝產生精確的抗蝕劑圖案。它包括各種成像光學和過程控制,以幫助用戶配置模型以獲得最佳結果。此外,還提供了一系列軟件工具來簡化蝕刻過程,並確保抗蝕劑模式一致且可重復。