二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9158302 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000是一款為先進的微加工應用而設計的高精度光刻設備。該系統融合了眾多功能，旨在提高其性能和輸出質量，使其能夠滿足大多數先進半導體工藝的要求。FSI Polaris 2000配備了深紫外線光源和低溫烘焙室。這樣可以確保在加工過程中顆粒和汙染水平低以及精確的曝光時間。還包括一個高精度的掩模對齊器，保證精確生產復雜的圖樣和特征。為了確保精確和可重復的結果，TEL Polaris 2000包含了一些能夠精確控制光刻膠工藝參數的功能。其中包括用戶定義的暴露和開發過程配方、化學浴池的精確質量流量控制器,以及一系列自動維護程序,以使設備在很長一段時間內保持最佳運行狀態。TOKYO ELECTRON POLARIS 2000隨附的熱控機也是為了高精度和精確度而設計的。這確保了光刻烘烤過程中溫度一致和溫度分布平坦，這對於取得均勻結果至關重要。內置的安全性和人體工程學特性有助於確保操作員的安全和舒適性。該工具包括自動化學浴級別監控、自動排氣、溫度安全聯鎖以及用戶友好的自動化組件。總體而言,Polaris 2000資產是先進微加工工藝的理想解決方案。它的特點組合使得它非常精確和可重復，它的安全性和人體工程學特性確保它是安全和舒適的使用。