二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9158303 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000是為下一代先進集成電路制造而設計的光刻加工設備。光敏處理是制造集成電路的一項必不可少的技術，因為它被用於制作感光材料層上的圖樣。FSI Polaris 2000配備了先進的雙面紡紗晶片支架，以促進光敏塗層的均勻性。該系統還包括一個濕加工站，具有用於高效制造的自動模塊清洗，以及自動防反射塗層。該單元旨在確保精確的模式配準和高分辨率的光學性能，確保復雜的設計可以在半導體晶片上精確復制。此外,機器還可以處理多種類型的抗性材料,包括正音和負音材料,使其易於在開發和生產中使用。該工具還能夠結合混合和匹配模塊以滿足特定的客戶應用程序需求。混合和匹配模塊包括熱溫掃描、設計規則檢查器和平面處理模塊。該資產除了具有快速、準確的光刻膠處理能力外，還具有創新的用戶界面，以提高生產率。易於使用的圖形用戶界面（GUI）允許操作員快速自定義配方並快速調整流程參數,而無需手動調整平衡。最後，TEL Polaris 2000有一個內置的自測模型，以確保設備在生產前和生產過程中操作正常。該系統包括自我診斷模塊、維護周期模塊和持續質量保證模塊。這樣一個綜合性的單元幫助用戶充分利用自己的光刻膠制造工藝，確保了一致的高質量產量。