二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris #9212671 待售

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris
已售出
ID: 9212671
晶圓大小: 12"
Coater / Developer system, 12".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARIS是由FSI Ltd開發制造的先進光刻設備。該系統設計用於半導體加工應用的高精度、高通量的光刻膠陣列。該裝置能夠產生尺寸可達50 nm的圖案,具有極好的精度和可重復性。這臺機器由先進的沈積和制圖工藝組成,能夠準確、高通量地創建光刻膠中的精細圖案。該過程的第一階段是將一個光刻膠層沈積到晶圓表面上。這種光致抗蝕劑隨後暴露於光源,如激光,光致抗蝕劑中的光效成分與光能發生反應,在光致抗蝕劑中產生圖樣或拍打。然後,工具使用溶劑在未暴露於光源的區域蝕刻光刻劑。這將在光刻膠中創建所需的圖樣。FSI Polaris資產配備了用於沈積和陣列制作過程的高精度自動掃描儀。該掃描儀能夠精確定位和控制光源以及光刻沈積。該模型還包括高級軟件,允許精確控制陣列制作過程。此軟件允許調整光強度、圖案大小和形狀以及其他參數。TEL Polaris設備還包括各種工藝和設備來處理暴露的光刻膠。這些過程包括烘烤和開發光刻膠,以及蝕刻和清潔暴露的光刻膠。該系統還能夠創建復雜的模式,如通過孔通孔和多層模式,方便和準確。總之,北極星裝置是一種先進的光致抗蝕劑機器,設計用於產生高精度、高通量的光致抗蝕劑圖樣。該工具配備了高精度的自動掃描儀、先進的制圖軟件,以及用於處理曝光的光刻膠的各種工藝和設備。該資產能夠以極好的精度和可重復性創建低至50 nm的復雜模式。
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