二手 SVG 8100 #168381 待售

SVG 8100是一種復雜的光刻設備，用於集成電路和其他納米結構的微加工。它是一種步進光敏系統，是一種利用光將微觀圖樣或圖像轉移到基板上的技術。該單元由四個主要組件組成：晶片級、步進器、光掩模和光源。晶片級用於在光刻過程中固定基板，其設計目的是提供最精確的運動，並確保基板與光源正確對齊。步進器配有聚焦在不同層次的透鏡，用於陣列生成和成像到基板上。光掩碼用於將所需的圖樣傳遞到基板上，通常由圖像組成，如晶體管、接線圖和其他微電子結構。最後，光源提供了將所需圖樣暴露在基板上所需的能量。8100使用稱為EQC的精密計算機來控制整個過程。EQC是工具的基本核心,提供軟件驅動的舞臺控制、精密的照明資產和成像特性等功能。基於計算機的機器控制模型能夠定制曝光特性，達到最高精度和模式保真度。機器也是高度自動化的，提供了「優化的自動過程優化」，以實現最高的分辨率和產量與更少的叠代。用戶還可以對自己的設計參數和梁特性進行編程，以實現定制模式。最後，機器能夠進行多層成像，讓用戶同時支持單層和多層成像。總而言之，SVG 8100光刻設備是一個功能強大、可靠、技術含量很高的系統，旨在將微結構無大驚小怪地成像成基板。它非常復雜和自動化,為各種應用程序提供了典型的準確結果。