二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #160121 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7是一款具有卓越清潔度和高生產率的光刻膠設備。該系統專為光刻和蝕刻工藝而設計。它使用一個特殊的軟件和一個強大的激光精確地創建精確的照片面罩精確和控制曝光的光抗蝕劑。此單元非常適合更精細的特征尺寸和高精度應用。TEL Clean Track Mark 7在表面使用水溶性止動層，然後用高精度激光形成照片面罩。激光束用於在感光材料上精確創建所需大小和形狀的開口。此技術允許50 nm至100 nm的特征尺寸和嚴格的公差特征精度。該機還具有高頻率和均勻度的蝕刻速率，用於厚抗蝕劑或多重光刻抗蝕劑。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7有一個先進的控制器，監控照片面罩形成的質量並提供反饋，允許精確自動的面罩開發。控制器還具有質量保證功能,可在檢測到任何錯誤時通知用戶。這樣可以快速、準確地采取糾正措施。該工具高度可靠,能夠在不中斷的情況下連續運行。它還有一個自動清洗周期，定期清洗照片面罩，防止殘留物堆積，最終會阻止最佳性能。該資產還具有低功耗和低基板損傷。總之，CleanTrackMark 7是一種精密的光刻模型，設計用於光刻和蝕刻工藝。該設備具有先進的控制器，可監控照片掩模成形的質量，並提供最佳編程反饋。對於厚抗蝕劑或多重光刻抗蝕劑，它具有高頻率和均勻性的蝕刻速率。該系統還具有自動清洗周期和低功耗。所有這些特性使得這種光刻膠單元非常適合精細或高精度的應用。