二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269600 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipment是為精確的光刻塗層而設計的堅固的設備。該系統能夠將特定材料塗覆到基板上,從而在光刻過程中實現大規模的裝置制造。該單元的核心是一個二氧化碳激光源,它為光刻塗層提供能量。與其他光刻膠系統不同,TEL CS450機配備了雙激光源。這種雙激光工具旨在最大限度地減少均勻塗覆基板所需的能量,有助於減少浪費和汙染。資產還包括一個閉環設施過程,該過程對感光材料進行連續監測,以便獲得可重復的結果。這種閉環模型還允許基板均勻性,提高了結果的準確性。除了激光源和工藝控制設備外,TOKYO ELECTRON CS 450光刻膠系統還包括多種塗抹劑。這些塗抹器允許將原料精確定位到基板上。噴頭具有一定範圍的噴嘴,以適應不同類型的感光材料。這樣可以確保在基板上的正確位置應用正確的材料。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450單元還采用PM3D掃描頭技術。這種先進的掃描技術旨在提供光敏材料快速、精確地沈積到基板上。這項技術涉及三維掃描,允許對基板上的感光材料進行極精確的塗層。最後,TOKYO ELECTRON CS450機還包括多種安全功能,以確保用戶在操作工具時保持安全。安全功能包括緊急停止開關、激光安全罩和雙門鎖,以防止感光材料可能受到汙染。總體而言,CS450光刻資產是光刻過程中的一個寶貴工具。它結合了激光光源、工藝控制模型、塗抹器和PM3D掃描頭技術,使各種基板上的光刻塗層能夠精確重復。結合其安全特性,CS450設備是大型設備制造的絕佳選擇。
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