二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269603 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是為各種光刻應用而設計的光刻設備。該系統配備了漸進掃描馬達、優化掃描儀和抗阻處理器，使其成為高度通用的設備。它能夠在面罩尺寸可達80 × 80毫米的各種基板上同時使用正負抗蝕劑。TEL CS450的逐行掃描電動機旨在最大限度地減少形成具有上覆光刻層的圖樣所需的時間。這種馬達提供了可重復和可靠的過程，最小的操作幹預。其± 2 μ m的對準精度和± 0.3 μ m的可重復性大大減少了基板圖樣和獲得質量結果所需的時間。TOKYO ELECTRON CS 450的掃描儀是一種大面積的管道傳輸裝置。該裝置允許用戶對撞擊抗蝕層的光學輻照度實現動態控制。此外,此單元還包括經過ISO認證的抗蝕劑分配和抗蝕劑切片處理器,可提供可靠且一致的抗蝕劑組成,同時確保掩模或基板上的一層幹凈一致。這臺機器還能同時適應高分辨率和低分辨率的特性以及在多波長曝光條件下運行。TOKYO ELECTRON CS450還配備了一種先進的技術，用於在曝光光刻工具時自動定位中間口罩。這一特點使得調整和微調光學選項變得容易，確保準確的分辨率和統一的圖案跨基板。CS 450是小型實驗室的理想選擇,因為它的可編程、用戶友好的觸摸屏控制面板易於設置和使用。此外,該資產的運營成本較低,能夠並行運行多達六個基板,從而提高了吞吐量。因此，對於那些為其光刻項目尋找成本效益高但可靠的光刻模型的人來說，這是一個極好的選擇。