二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269618 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450光刻設備是一種用於半導體晶圓制造的最先進的光刻工具。該系統由光刻塗層模塊、曝光模塊、顯影模塊、剝離模塊四個主要組件組成，分別進行光刻塗層、光刻圖樣傳遞、圖樣顯影和光刻剝離。該裝置的自動化控制使光刻膠能夠獲得最佳塗層,確保均勻且可重復覆蓋。使用專用軟件,可以處理和精確管理各種層。特定於應用程序的曝光模式的範圍從簡單的幾何形狀、線條或圓形到復雜的微觀結構。通過精確控制暴露參數，TEL CS450能夠進行先進的模式設計。光阻塗層模塊由一系列坦克、一個自旋頭和一個自旋控制器組成。自旋頭和控制器協同工作，精確控制自旋速度和加速度。適當編程後,控制器會自動將光刻膠分配到晶片表面上,在光刻過程開始之前均勻地塗覆表面。該機構還確保厚度均勻，並限制潛在的汙染。Expose Module實現了高精度的真空接觸對準。跟蹤機器類似於自動對焦攝像機，確保最小分辨率誤差和高精度。控制器允許精確控制劑量、聚焦、對準、次曝光和烘烤。開發模塊由兩個儲罐、一個晶圓支架和一個加熱器組成。集成的外圍加熱器使光刻膠變暖,並使耐火烤箱失活,確保達到理想的開發效果。剝離模組使用射頻等離子體和濕蝕刻的組合來輪廓和去除光致抗蝕劑。結合起來，這四個過程使圖樣能夠高度準確和可重復地轉移到晶圓表面。通過控制和管理曝光參數，TOKYO ELECTRON CS 450將自己定位為一種用於制造半導體晶圓的高端、高分辨率光刻工具。