二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269620 待售
網址複製成功!
TEL/TOKYO ELECTRON CS450是TEL Limited生產的高精度光刻設備。它專為半導體、平板顯示器和其他前沿電子產品制造中的應用而設計。TEL CS450系統由顯微鏡和光刻工具兩部分組成.該顯微鏡設計用於成像和用於掩模圖樣在晶片上的臨界覆蓋對準。它具有自動鏡頭單元(ALS),可實現高吞吐量和高精度。鏡頭機的數值光圈為1.5,放大倍率高達1,400X,與光刻工具完全集成。光刻工具具有高分辨率成像工具,使用專有的激光束寫入工藝將光刻膠應用於晶片。它還具有高精度的掩碼居中資產,可使掩碼與晶圓的目標區域精確對齊。該模型采用綜合標準的光掩模測量和對準設備進行精確的掩模對準,並具有動態加載和對準能力,以實現快速處理。TOKYO ELECTRON CS 450系統為創建高精度圖樣提供了可靠且可重復的結果。它專為可靠的操作而設計,並具有可根據需要輕松更換或升級的模塊化組件。它具有先進的單元監控能力,包括自動機器故障檢測和報警管理。CS 450工具具有靈活性和可擴展性,可滿足不同的客戶需求。它能夠處理各種類型的基材,如300 mm晶圓,設計具有廣泛的生產自動化和控制功能。總體而言,CS450是一種可靠、精確的光刻處理資產,非常適合用於制造先進的集成電路和其他先進的電子產品。它提供高分辨率、靈活性和可擴展性,以滿足不同生產環境的要求。
還沒有評論