二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269621 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450光刻設備是一種先進的高速無掩碼成像系統，用於半導體和電路板應用的光刻工藝。該裝置利用高速成像激光器在光刻塗層晶片或板上光學曝光圖樣。它具有高吞吐量和高精度的復雜模式形成能力，滿足了電子和微加工行業的迫切需要。該機融合了全方位的機動定位級和控制系統，以確保精確的控制和可重復的定位。晶片或板牢固地固定在真空卡盤中，可通過使用控制器進行接合。在整個成像過程中監測底物的均勻性和真空水平，以確保高精度和可重復性。成像激光器消除了對口罩和口罩的需求,從而使工具更快速、更經濟高效。激光的使用使得該資產既適用於直接成像，也適用於間接成像技術。UV（191-397nm）和IR（820-1700 nm）激光源的寬波長範圍可用於不同的應用。該模型還具有晶圓或板清潔能力，具有先進的濕處理技術。它包括一個全自動的化學管理設備以及可編程的控制，以分解和轉移化學溶液和監測廢氣流動。可以根據每個流程的特定要求設計和自動化TEL CS450。用戶可以在任何時間長度內配置自動化程序，照片曝光和開發可以在一次運行中完成，無需人工幹預。內置的精確控制和監控功能確保了成像結果的準確性和可重復性。總體而言，TOKYO ELECTRON CS 450光阻系統是一個可靠高效的成像平臺，可用於廣泛的應用。它是創建復雜圖樣的理想單元，可用於半導體或電路板應用的光刻工藝。