二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269627 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipment是一種用於半導體工業沈積光致抗蝕劑的高端、精密設備。系統采用蒸發、濺射、自旋塗層等多種調制沈積方式。具有在基板上快速、高精度實現均勻塗層的能力。大基板尺寸可提供高吞吐量和高達4500mm的工藝兼容性。TEL CS450單元還包括一個原位電阻監測機，它允許對基板上的電阻厚度進行實時控制。蒸發器工具利用電子束加熱對大多數材料進行快速熱蒸發，並包括一個本機集成的燈絲電源，用於安全、有效的操作。蒸發器資產還具有高效的冷凍泵，在加工過程中有助於基板的快速排空。該模型還包括一個既能提供氙氣濺射也能提供氙氣濺射的多源濺射模塊，以及一個具有獨立計量多材料沈積的提前濺射源。TOKYO ELECTRON CS 450的自旋塗層設備的精確度與它的高均勻性相輔相成，增強了系統在基板上快速準確沈積光阻的能力。自旋塗層還包括一個雙頭驅動單元，可精確控制速度和均勻性。刀具的主動自動旋轉模塊進一步提高了機床的均勻性和精度，利用先進的運動控制器來保持均勻的旋轉速度。CS 450光阻資產是一種可靠、高效的沈積模型，既能提供精度，又能提供高通量。其高效的消散防禦允許在過程中進行安全的基板鏡像，而其原位抵抗監測設備則允許及時調整以滿足沈積要求。此外，它的濺射和蒸發源提供了廣泛的工藝兼容性，並能提供高均勻性和快速沈積操作，同時保持優秀的光致抗蝕劑質量。