二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269628 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450光致抗蝕劑設備是一種半自動沈積系統，用於半導體制造過程。該裝置的設計目的是通過用戶定義的定制工藝對光刻膠材料進行精確沈積。該機由一個控制器模塊和一個集成操作面板、一個基板處理/光刻處理模塊、一個真空沈積模塊、一個光學對準模塊和一個檢測器模塊組成。控制器模塊包含一個基於Windows的軟件控件,允許用戶定義和存儲自定義沈積配置文件並監視工具參數。基板處理/光阻處理模塊負責基板處理和預處理過程。它包括一個熱單元和專用盒式磁帶用於固定基板。真空沈積模塊設計用於將光敏材料或其他薄膜材料沈積到基板上。采用低壓、隔膜控制沈積技術進行均勻薄膜沈積。光學對準模塊提供基板相對於沈積源的對準。該模塊包括用於檢測基板或晶片位置的攝像頭，以及用於精確定位基板的可移動光學對準裝置。最後,檢測器模塊測量沈積在樣品晶片上的薄膜厚度.總體而言，TEL CS450光致抗蝕劑資產是在各種半導體制造工藝中進行光致抗蝕劑沈積的流線型、成本效益高的模型。該設備具有集成工藝控制、預處理、真空沈積元件等多種人性化特點，用於精密薄膜沈積。此外，該系統還包含一個光學對準模塊，以確保基板的正確對準，以實現均勻的薄膜沈積。檢測器模塊可確保沈積光敏材料的正確厚度。這些特性使TOKYO ELECTRON CS 450成為半導體制造過程中薄膜沈積的理想裝置。