二手 TEL / TOKYO ELECTRON I/F Block for Clean Track Mark 8 #293658866 待售

TEL I/F Block for Clean Track Mark 8是一種光刻膠設備,專為光刻膠的精確曝光而設計,用於在基板上創建有圖樣的膠片圖像。它經過精密設計,是一種經濟高效、高通量、用戶友好的曝光和圖像開發工具。該系統的特點是對6英寸基板進行大約20m/s的調制掃描，使用戶能夠最大限度地減少曝光時間，減少光致圖像模糊。它還具有自動晶片對準的功能，最大位置精度為0.1µm，以及對基板進行完整的圖像邊緣到邊緣掃描。該單元利用高質量的光學成像機，確保了廣泛的成像能力。設計采用兩件式鑄鐵柵格,可全面控制基板抖動,軸向傾斜可調節,以便在基板上精確、可重復地放置圖像。該裝置的自動調平工具采用高速直線傳動、精密編碼器和Z軸檢流計控制器，以確保基板定位準確、可重復。該資產旨在最大限度地減少與溫度相關的光路膨脹和收縮,從而實現卓越的成像性能。TOKYO ELECTRON I/F Block for Clean Track Mark的高級曝光控制器利用圖形用戶界面進行用戶友好操作。集成的PARADITM軟件包允許用戶優化曝光時間、光斑大小和聚焦等成像參數，以達到最大曝光精度。最後,該模型設計為在廣泛的光敏塗層上提供卓越的成像性能。與TEL/TOKYO ELECTRON專有光刻產品一起使用時,精密曝光設備經過優化,以達到最佳性能。再者，該裝置與各種第三方光敏產品兼容。TEL I/F Block for Clean Track Mark 8旨在為用戶提供先進的曝光系統,以實現經濟高效、高通量和用戶友好的光阻成像。其設計特點確保了卓越的成像性能和最大的曝光精度。