二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #119691 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是一種多功能、高性能的物理氣相沈積（PVD）反應器,專為先進的低溫過程而設計。AMAT 0010-09750是一種單晶圓HiPIMS（高功率脈沖磁控管濺射）工具，具有靈活的平臺，非常適合多層沈積序列。該設備利用專有的群集源幾何形狀和實時0-15KW功率控制來實現高速率和均勻層厚度（UTL）。該系統采用多面磁控管集群源,最多有五個獨立的工藝區,可實現單目標沈積和雙目標電子束熔化等不同操作。這允許了多種不同的等離子體濺射技術，使其適用於先進的電介質和超高性能塗層等廣泛的應用。13英寸頂裝室一次運行最多可容納6個6英寸晶圓，與太陽能、MEMS、LED產品兼容。APPLIED MATERIALS 0010-09750的先進溫度控制單元允許精確調節基板溫度和工藝參數。兩種不同的泵（渦輪泵和雙級幹泵）用於工藝室疏散和高效的底壓控制。該機在-90°C至+150°C的溫度下運行，以允許各種工藝循環時間，采用多區加熱器配置來精確管理基板溫度。該工具具有用於創建、執行和修改配方操作的集成讀/寫功能。專門的食譜可以很容易地存儲和檢索,從而提供最大的靈活性。用戶界面主機賦予操作員對資產的完全控制權，便於監控和調整流程參數。主動現場腐蝕分析軟件是提供快速即時分析的模型的一部分。對於需要快速沈積速率、精密控制工藝參數和多層沈積序列的客戶來說，該設備是一個極好的選擇。