二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage 5 #9399299 待售

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ID: 9399299
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" (2) Vulcan chambers (3) Factory interface: FOUPs Handler system CIM: Secs gem 2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage 5 Rapid Thermal Processor是為半導體制造和先進封裝技術開發的先進的快速熱退火(RTA)設備。這種可靠而堅固的RTA系統是為半導體器件制造和高級封裝應用而設計的。AMAT Vantage 5提供快速的加熱和冷卻時間,出色的溫度均勻性,以及精確的過程重復性.應用材料Vantage 5 RTA單元采用高級工藝控制(APC)技術,在產品尺寸越來越小的情況下提供了最高質量的結果。其專利的高級工藝溫度控制(APTC)算法確保了最有效的溫度均勻性。這臺機器還具有自動優化功能,以確保最快的周期時間。Vantage 5的高速、高重復性和重復性是高性能應用的理想選擇,尤其是在矽、SiGe合金等加工材料中。AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage 5 RTA工具設計有環境控制室,並設有氣封外殼,為用戶提供清潔、幹燥、無化學物質的工作環境。其專利,自動粒子控制技術允許用戶保持嚴格的粒子控制,保護晶片免受汙染。資產還提供各種可自定義的選項,允許用戶根據其特定需求和應用程序定制模型。AMAT Vantage 5通過其具有在線SPC、粒子監控器、數據采集、工藝和晶圓映射以及晶圓跟蹤的高級控制器提供精確的過程監控。此外,它還提供各種定制的應用,如集成機器人手臂,漂洗設備和晶圓傳輸。綜上所述,APPLIED MATERIALS Vantage 5快速熱處理器是一種高級熱退火系統,非常適合高性能應用。它通過先進的控制器提供出色的溫度均勻性和可重復性,以及過程監控。Vantage 5還提供了環境控制室和可定制的選項,使其成為半導體器件制造和高級封裝應用的完美解決方案。
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