二手 STEAG / AST / MATTSON Helios #9219024 待售

STEAG/AST/MATTSON Helios是一款利用快速熱處理（RTP）技術的快速熱處理器。它是生產半導體晶片的高通量、高成本效益的工藝。AST Helios旨在在包括退火、擴散和氧化過程在內的多個應用中提供準確、可重復和高效的熱處理。設備配置有集成就緒爐設計、多種測量能力和集成安全功能。STEAG Helios采用多功能爐設計，有兩個加熱區和兩個冷卻區，能夠達到1100 °C的溫度。處理器允許精確控制快速的熱輪廓，溫度轉換為30至500 °C/秒，停留時間為10至60秒，適合快速精確的處理。此外，處理器的氣體輸送系統在大氣控制方面提供了靈活性，允許產生氮氣、氧氣和氙氣類型的大氣。為確保機組安全，加工室配備了冗余安全測量，包括氣體監測器、壓力傳感器、熱電偶和密封門聯鎖裝置。MATTSON Helios能夠通過集成的光學高溫計監控晶圓電位,精確監控腔室內的過程,並能夠在設定點的2 mA範圍內調節溫度。該處理器旨在與其他設備集成,並利用獨立於計算機支持的控制平臺,從而能夠輕松快速地配置所需的工藝參數。此外，處理器還配備了用戶友好、圖形化的用戶界面（GUI），便於操作和控制。Helios是一款高效的快速熱處理器,適用於半導體晶圓生產中的多種應用,旨在滿足各種產品和工藝的最高質量要求。該機提供精確的溫度剖面控制、安全特性、集成的光學高溫計以及易於操作的用戶友好的GUI,是快速熱處理的理想選擇。