二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9202527 待售

STEAG/MATTSON/AST 2800快速熱處理器是一種先進的半導體器件制造工具,旨在促進復雜半導體材料的快速、精確熱退火。處理器結合了最新的超高速加熱和冷卻技術,以減少處理時間,同時保持高度的熱控制和對稱性。該裝置采用雙區氣體分散噴嘴，允許適當的氣體混合物分布在晶片上，以實現最佳的熱退火。此外,處理器獨特的加熱感應板可確保整個晶片表面的適當和一致加熱。這樣可確保進程運行之間的最佳熱均勻性和可重復性。利用其板載計算機系統，處理器能夠對晶片表面進行高度精確的熱分析。利用高精度熱通量傳感器和先進的軟件控制算法，以極高的精度測量和記錄溫度隨時間的變化，實現了這一目標。然後,這些數據可以精確控制熱退火時間和溫度,同時提供反饋,以確保流程保持在預定的配置文件內。此外，處理器還配備了最新的安全技術，包括在意外過熱情況下能夠快速冷卻晶片的應急熱排除系統。此外,處理器的額定工作壓力高達200毫巴,可確保細膩的材料在進行熱退火時不會產生不良的副作用。總體而言,AST 2800快速熱處理器是任何半導體制造操作的寶貴工具,需要對精細材料進行快速、精確的熱退火。它結合了先進的溫度測量和控制算法，加上復雜的安全特性，使其成為一種高度可靠和通用的設備，適用於各種過程。