二手 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SA0150LP #181495 待售

TEL WAVERMASTERS TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SA0150LP是一種快速熱處理器,用於通過TSV制造矽,以及半導體加工中的其他復雜應用。它用於緊致金屬管線的退火和快速熱退火（RTA）,用於創建超薄互連,並將其戰略性地分布在產品表面上。該處理器對於創建最先進的集成電路組件至關重要,因為它允許修改TSV布局和在整個晶圓上均勻施加熱量。在規格方面，WAFERMASTERS WAVERMASTERS TEL SA0150LP快速熱處理器具有開放平臺架構，允許靈活性和吞吐量優化。它配備了兩個獨立控制的加熱級，能夠在不到2分鐘的時間內加熱300 mm （12英寸）晶圓基板高達1,000 °C。晶圓溫度精度為+/-2°C,可在90秒內達到。它還旨在最大限度地提高冷卻速率,以使工作溫度保持在最佳範圍內,防止損壞晶圓表面的細膩結構。使用此設備,每小時最多可處理250個晶圓,具體取決於所需的過程。它特別適合先進的工藝要求，如金屬、電介質和金屬間材料，因為它的復雜性和提供的功能。用戶可使用多達16個高精度氣體輸送點，從而能夠將化學技術精確應用於各種工藝技術。TOKYO ELECTRON WAVERMASTERS WAFERMASTERS SA0150LP快速熱處理器具有廣泛的安全和保護功能,包括為用戶提供基板溫度實時可視化讀數的光學高溫計,以及確保在處理開始之前滿足所有安全條件的多層互鎖。此外，它的軟件設計旨在確保晶圓永遠不會超過最佳溫度參數，防止過度處理、錯誤和其他風險。總而言之，TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS WAVERMASTERS SA0150LP是一款先進可靠的快速散熱處理器，使用戶能夠快速安全地完成甚至最復雜的任務。它提供精確度、速度和高通量,是高端半導體處理應用的理想選擇。