二手 AIXTRON AIX 2400/2600 G3 #9029074 待售

AIXTRON AIX 2400/2600 G3是為精確控制氣相沈積而設計的半導體沈積反應器。反應堆提供了廣泛的沈積過程，如化學氣相沈積（CVD）、低壓CVD（LPCVD）、原子層沈積（ALD）、物理氣相沈積（PVD）、磁控管濺射和金剛石沈積。AIXTRON AIX 2400/2600 G3反應堆以一系列模塊化元件建造，以適應特定的工藝要求。它提供高性能的處理、快速的腔室循環時間、快速的泵降時間和嚴密的過程控制以及低壓和溫度變化。設備配備了精確的運動控制轉錄機器人，保證了溫度的均勻性和沈積速率的均勻性。機器人可以配置不同的基板形狀和尺寸，以適應各種應用。AIX 2400/2600 G3反應堆裝有先進的運動控制系統，可以準確控制沈積過程。該單元由一個現場總線網絡、幾個運動軸和專門為沈積過程開發的智能軟件機組成。該工具允許精確控制沈積速率、溫度、壓力和其他沈積參數。AIX 2400/2600 G3反應堆還配備了一組傳感器，可以進行準確的過程監測。這允許對流程參數進行實時分析,從而能夠精確控制流程。AIXTRON AIX 2400/2600 G3是為了在操作時最大的安全性和可靠性而設計的。該反應堆的設計目的是在發生火災或氣體泄漏的風險非常低的情況下運行。此外，反應堆還配備了雙級壓力資產，使其能夠對工藝參數的任何變化做出快速反應，從而防止對模型的任何潛在損害。最後，AIXTRON AIX 2400/2600 G3反應堆的設計提供了過程管理的靈活性。它的模塊化設計允許廣泛的流程配方、可擴展的設計和定制的流程參數,從而實現了廣泛的自定義應用程序要求。這有助於快速優化和開發流程,使用戶能夠更好地控制流程。