二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-A3951 #293664959 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0090-A3951反應堆是一種用於先進材料加工的光刻設備。利用電子束光刻（EBL）技術在各種材料的基板上產生超高分辨率圖樣。反應器由壓力為10−6 mBar或更小的真空室和放置在腔室上的不銹鋼板組成。該系統配有電子束源，用於產生高能電子。然後將這些電子聚焦在基板上以形成圖樣。此過程由數控主偏轉板和一系列梯度、分段和全局板調制。這允許在基板上創建復雜的設計。該單元還裝有真空室中的石英窗板，在光刻過程中提供基板的視圖。這允許用戶觀察圖案形成，並在需要時調整梁。該機器還配備了爆炸性排氣工具，可以在生產環境中安全運行。該資產還提供了一個實時的光束電流平衡模型，可以在光刻過程中快速調整光束電流。這樣可確保以最小誤差獲得最佳結果。AMAT 0090-A3951反應堆可用於多晶矽太陽能電池加工、LED生產甚至MEMS制造等多種應用。憑借其先進的特點，該設備能夠產生高精度和高度控制的優越圖案和結構。