二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX #293665719 待售

AMAT APPLIED MATERIALS 7800 RPX是專門為半導體器件制造而設計的下一代8英寸基板加工反應器。AMAT/APPLIED MATERIALS 7800 RPX提供了高性能的微制造和高級陣列設計,減少了占地面積和成本。AMAT 7800 RPX具有耐用的高性能設計,針對低能耗批量和動態腔室工藝進行了優化。其堅固的結構保證了半導體過程的可重復性、可控性和高精度。反應堆的效率保證了它能夠輕松處理工業級半導體產品制造所需的大批量晶圓生產。具有可調熒光光源的先進光學封裝允許對光刻過程進行精確和可重復的控制。自動裝載機和多個裝載口確保快速、準確的底物裝卸。此外，該腔室設計具有可靠的德加和晶圓夾緊能力。APPLICED MATERIALS 7800 RPX增強了等離子體設備性能，消除了過程的變化，提高了過程的重復性。雙頻開關電源使等離子體系統保持在所需的進程參數下運行。先進的溫度控制單元和水平熱晶片支撐提供了溫度均勻性和更快的冷卻速率。帶有制冷劑-液體冷卻熱交換器的自動快速響應閉環氣體出口機可確保有效的氣體和化學控制,並減少停機時間。反應堆內部設有防止輻射泄漏的射頻屏蔽裝置，腔室頂部覆蓋有IMD絕緣板，確保最大熱效率和工藝腔內最佳散熱。AMAT/APPLIED MATERIALS 7800 RPX附有一個配氣箱，配有兼容的閥門、管子和儀表，用於有效的氣體計量。利用警報、指示燈以及溫度和壓力傳感器，反應堆實現了更好的實時過程控制和監控。它還有一個集成的晶圓處理工具，使用密封的Symmetric Lane技術進行可重復、自動的基板處理，不會受到汙染。AMAT 7800 RPX是一種全能反應堆，旨在在半導體制造作業中提供卓越的性能。它是一種高度可靠的資產,具有極高的精度、準確性、可重復性和魯棒性。