二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #293665720 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811
ID: 293665720
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
Epitaxial reactor, 6" 1990 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811是一種多室反應器,設計用於底物的蝕刻和沈積。它能夠進行化學氣相沈積(CVD)、物理氣相沈積(PVD)和蝕刻過程。它有一個大的腔室尺寸,容量可達200 x 200 mm的工藝。它還有一個Sub Ambient低壓蝕刻模塊,允許反應堆被處理到0.3毫巴。這樣可以在低壓下進行蝕刻,從而減少汙染並增加工藝控制。AMAT AMC 7811還可以配置全系列的標準及專用配件和夾具。這允許用戶自定義其設置以實現更高效和受控的處理。這包括小型樣品的手動晶片處理,以及大型樣品的自動機器人晶片處理系統。它還設有流程控制和監控系統,允許用戶實時監控流程,對流程進度提供快速準確的反饋。APPLIED MATERIALS AMC-7811還配備了一個靈活的燃氣箱,可以快速、方便地連接到燃氣線。這樣可以確保樣品均勻地暴露於所有所需氣體中,並有助於減少汙染和提高工藝的可重復性。反應堆也有安全措施,如自動關閉功能過熱或失去腔室壓力。這有助於確保以最小的汙染或損壞風險安全和高效率地進行該過程。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS AMC-7811是一種用途廣泛且可靠的工具,使用戶能夠有效地執行CVD、PVD和蝕刻過程。它是研究和生產應用的有效工具,可以定制以滿足每個用戶的特定需求。其堅固的設計和特性使其用途廣泛且可靠,其安全特性有助於確保其操作時所受汙染或損壞的風險最小。
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