二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #9069030 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811是一種低壓化學氣相沈積（LPCVD）反應器，設計用於生產高純度薄塗層，如氮化矽、多晶矽、氧化矽、鎢等。反應器室由不銹鋼組成，根據工藝應用情況，額定運行溫度可達1050 °C。AMAT AMC 7811的內部容積為1.2至7.6立方英尺,可容納多達5個100 mm基板、4個150 mm或2個200 mm基板。反應堆配備了強大的晶圓運輸，通過設備快速、精確地移動基板。轉運器以高達10kHz的頻率運行，提供快速反應時間。晶圓傳輸被設計成工作與頻率調制射頻發生器的精確基板定位。APPLIED MATERIALS AMC-7811還具有最先進的過程控制系統,能夠監控和控制重要的過程參數,如溫度、腔室壓力、流量和濕度。此外,該設備還提供先進的氣體純度和晶圓均勻性診斷功能。這些特性保證了每種基板的工藝可重復性，從而使塗層厚度和結構均勻。AMC 7811旨在通過提供高效、高質量的生產工藝來滿足制造商的苛刻要求。它在廣泛的溫度和壓力範圍內提供均勻性和可重復性，均勻性優於± 1%。此外，該機器能夠產生低至10nm的沈積速率和高達每秒40埃的沈積速率。AMAT AMC-7811反應堆為研究和生產要求提供了一個緊湊可靠的工具。它非常適合生產薄層,並通過直觀的圖形用戶界面（GUI）方便維護和服務。此外，該資產與AMAT系列流程模塊完全兼容，以便用戶根據需要進一步定制。