二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7821 #293665721 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821是一種設計用於濺射和化學氣相沈積（CVD）工藝的高性能反應器。它是一種垂直設備，配有直徑6英寸的腔室和由三相輸入供電的28千瓦變壓器。AMAT AMC 7821具有車載渦輪泵和高效泵送系統，可快速實現用戶設定的處理壓力。它還具有一個石英晶體壓力傳感器，用於監測操作過程中室內的壓力。這樣可以確保一致地實現所需的工藝條件。反應堆還包含一個圓柱形上柱、圓柱形下柱和一個聚乙烯薄膜窗。它也有一個開放式的目標，允許從目標基板的兩側濺射。APPLICED MATERIALS AMC 7821提供快速的溫度上升和冷卻能力，使其能夠在高達800°C的溫度下加工。它有一個集成的溫度控制器來監視腔室溫度並確保溫度保持在所需的水平。反應堆裝有計算機控制的氣體單元，有兩個入口和兩個出口。這允許用戶將反應物的流量控制在1 SCCM（標準立方厘米每分鐘）以內。AMC 7821提供各種尺寸和選項。它可以作為獨立的機器使用，也可以集成到現有的工藝線中。反應堆還可以針對包括金屬、陶瓷和矽片在內的多種基板進行定制。它能夠處理廣泛的材料，包括導體、半導體、磁性材料、介電材料和氮化物。AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821是那些在薄膜沈積、光伏技術、MEMS、納米技術等具有挑戰性的應用中尋求可靠、持久性能的人的理想選擇。它非常可靠、易於維護,並且經過專業設計,能夠快速高效地完成工作。