二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxP #9200052 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200 WxP是一種半導體工藝反應堆，旨在滿足各種半導體制造應用的需求。該反應堆的設計在工藝穩定性和可重復性方面提供了卓越的性能。它具有易於使用和成本效益高的控制設備，能夠對工藝參數進行精確的控制和微調，以確保設備的最大產量和可靠性。反應堆有兩個主室，主室和更大的工藝模塊。主室有兩個源和晶片支架位置，帶有專用晶片轉移機器人。該工藝模塊包括兩個用於過程氣體輸送的輸液單元：主晶片和源級，具有獨立的晶片加熱和氣體混合控制，以及溫度和壓力監測。AMAT Centura 5200 WxP被設計為在低溫梯度、周轉時間短的情況下為晶圓處理提供最大的均勻性和重復性。采用弧形氣體分布機構，在熱區實現了更好的均勻性和可重復性。等離子體也被仔細調節，以便更精確的控制。先進的計算機控制技術用於遠程控制和先進的故障檢測和警報，用於維護。APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxP經過精心設計,能夠日復一日地可靠運行。它配有經過驗證的氣體閥系統和獨特的熱區反射鏡裝置，可以最佳地利用等離子體中的源氣體。獲得專利的雙流磁性熄滅裝置有助於保持腔室條件的最高精度。此外，該腔室采用模塊化加熱機設計，在工藝中斷時可加快冷卻速度並提高安全性。Centura 5200 WxP反應堆的設計符合可靠性和可用性的最高標準。它具有易於使用和直觀的圖形用戶界面、自動晶圓處理工具以及強大的數據收集和分析包等高級功能。利用反應堆的高性能平臺，客戶以最低的維護成本獲得最大的吞吐量、產量和設備可靠性。這使得AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200 WxP成為先進半導體制造應用的理想選擇。