二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9056591 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是專門為半導體生產而設計的最先進的等離子體蝕刻反應器。AMAT P-5000提供了比其前身P3000更高的吞吐量、更快的晶片加載、改進的安全特性和更長的腔室壽命。APPLICED MATERIALS P 5000是一種先進的等離子體蝕刻反應器，具有高度優化的電子回旋共振（ECR）或感應耦合等離子體（ICP）源，為關鍵半導體工藝提供了優越的蝕刻速率和優越的輪廓。它能夠達到高達250 nm/min的蝕刻速率,從而實現高效的吞吐量,縮短流程周期的周轉時間。P 5000設計具有先進的安全功能和卓越的排氣系統,為環境提供業界領先的保護。幹泵設備確保排出的廢氣持續清潔，並允許室內的低分數氧含量。多級安全管理系統允許反應堆平穩安全啟動。此外，車窗門設有安全互鎖裝置，可防止意外接觸低壓等離子體。APPLIED MATERIALS P-5000提供卓越的晶圓加載和處理功能。它具有全自動機器人機器，允許快速、可靠和可重復的晶片裝卸。機械轉移臂消除了有害的人暴露在加工室內，其先進的控制器允許晶片在室內精確對準。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反應堆還通過使用先進的材料和塗層提供了更長的腔室壽命，從而提高了魯棒性，降低了維護要求。采用的先進材料耐腐蝕、氧化和腐蝕，以確保可靠的蝕刻工藝和較長的使用壽命。此外，AMAT P 5000還包括一個水和氮氣射流的高效冷卻工具，支持高功率過程和優越的溫度控制。總而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是一種通用的半導體生產等離子體蝕刻反應器，設計具有優異的安全特性，優化了晶片的加載和處理，並延長了腔室壽命。它提供了更高的吞吐量和更快的工藝周期時間,使其成為滿足現代生產需求的完美解決方案。