二手 ULVAC IBS #9062038 待售

ULVAC IBS是一種具有增強離子束質量的低壓、高密度離子束源，具有優化的磁絕緣離子光學設備。IBS設計用於廣泛的離子束應用，如特高壓濺射、離子植入、SIMS、EBIS等，並利用獨特的磁場構型來控制和操縱離子軌跡。ULVAC IBS核心由兩個主要組成部分組成。第一種是裝有推進器槍、液態金屬離子源和熒光屏的離子源室。推進器槍通過轟擊具有高能電子的材料來產生離子，而液態金屬離子源（LMIS）則產生能量擴散較低的穩定、均勻的離子束。LMIS使用低粘度的液態​​的移液離子流產生離子流，然後被熒光屏制服，產生所需的束流。IBS的第二部分是離子光學系統。此單元由幾個不同的磁體組成,這些磁體會建立一個3D磁場來控制和塑造離子束。這些磁體是三個修剪線圈、螺線管和電子抑制線圈的組合，它們都協同產生穩定的離子路徑，使光束集中在目標樣品上。離子源和離子光機的結合保證了高質量穩定的離子束。它也允許高電流密度的離子束在毫安每cm2範圍內，這是理想的高離子電流應用。磁場也增加了離子束的效率，並且可以調整以產生不同的束特性，例如球形和近各向同性發射。ULVAC IBS還具有高效泵送離子源腔室、改進的操作控制工具和先進的診斷能力。所有這些特性共同使IBS成為最可靠、最健壯的離子束源之一。該裝置能夠承受最苛刻應用的嚴謹，適用於各種工業和研究應用。