二手 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT / VARIAN E11031424 #9229243 待售

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AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT / VARIAN E11031424
已售出
ID: 9229243
晶圓大小: 8"
E-Clamp ESC platen assy white, 8".
AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT/VARIAN E11031424是為先進的半導體處理應用而設計的最先進的離子植入設備。它結合了強大的離子源、高精度的束線控制和全面的過程監控功能,以支持先進的設備制造方法。HP E11031424具有30 kW的離子源,具有射頻(RF)偏置功能,可增強控制。該系統配有內置接口,用於控制成束光束光學器件。這樣可以確保將最佳劑量的植入離子輸送到目標基板上。此外,實時掃描單元提供精確、微調的光束控制,並提供精確植入功能。VARIAN E11031424還包括一個數字光束監測機,可以進行詳細的過程監測。這使工具能夠檢測植入參數中的微小偏差。該資產還具有強大的數據收集和日誌記錄功能,可存儲植入數據以供以後分析。此外,該模型還可用於梁的表征和工藝優化.該設備還具有堅固的開環聯鎖系統,為操作員提供安全和保護。這允許自動監視和強制執行預先配置的安全參數。此外,對警報和警告事件的快速響應能夠確保操作安全和工作效率。該單元還增加了一個安全層,以確保以可聽和視覺警報的形式向操作員提供所需的信息。總體而言,KEYSIGHT E11031424是一種強大可靠的離子植入器和監控器.它提供了一系列全面的功能,以實現先進的設備制造和確保操作員的安全。HEWLETT-PACKARD E11031424具有卓越的特性和功能,是先進半導體加工應用的絕佳選擇。
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