二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9399533 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408是一種先進的熱化學氣相沈積（CVD）反應器設備，設計用於各種材料的沈積。它是一種單晶片系統，具有先進的加熱元件，用於矽基材料在半導體中的沈積，包括多晶矽、低壓CVD氮化矽等先進材料。反應堆具有0.3、0.6或1.0 μ m的磁感器，具體取決於應用情況。它能夠沈積高達1100 °C的溫度，並由直流電源供電。這個CVD反應堆有一個獨特的氣體輸送裝置，利用三種不同的氣源提供超精確、均勻的沈積氣體輸送。它利用一個多區加熱裝置，能夠將每個晶片精確高效地加熱到所需溫度。它還有一個嚴密的過程窗口，允許穩定和可重復的結果在沈積各種材料。AMAT 0010-36408反應堆也有計算機控制接口，允許機器手動或自動操作。使用這個界面，用戶可以對沈積參數進行編程，以滿足其特定的應用需求，還可以監控晶圓沈積的進度。界面還提供各種有用的診斷工具,以幫助排除任何問題。除了先進的特性外，這種CVD反應器還有一種高效的冷卻工具，可以防止在長期運行過程中敏感器過熱。它還有一個內置的凈化資產，以減少可燃氣體的積聚，一個用於低壓CVD的真空充氣和絕緣屏蔽，以確保熱能在晶圓表面的均勻分布。總體而言，APPLIED MATERIALS 0010-36408熱CVD反應器是在半導體應用中用於各種材料沈積的先進模型。它提供了高度可重復的結果,同時易於使用和維護。它具有多種氣源和直觀的界面，非常適合先進的薄膜沈積工藝。