二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #140297 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE是一種計算機控制的離子植入器和監控設備，旨在為生產力和系統正常運行時間最高的半導體器件提供精確植入。它提供了先進的技術，旨在最大限度地提高植入產量和實現最有效的植入過程。AXCELIS NV GSD HE由幾個模塊組成，包括離子源驅動程序、束電流監控器、氣體面板和過程控制單元。本機設計為與AXCELIS高電流/高能量（HC/HE）或EATON NOVA低電流/高能量（LC/HE）植入平臺配合使用。離子源驅動程序是工具的核心，允許精確控制光束電流，提供精確穩定的植入過程。這允許精確的再現和低水平的植入產量。光束電流監視器可保證最高級別的穩定性和可靠性,同時提供精確的光束電流監視。通過監測植入過程的結果，它允許最大程度的精度和可重復性。氣體面板允許精確控制氣體流動，允許優化植入。Process Control Asset提供了對植入的快速和準確的控制,允許詳細的數據記錄和控制。EATON NOVA NV-GSD HE提供高級功能,例如集成故障分析系統,使操作員能夠快速診斷任何設備故障的來源,以及復雜的軟件工具,以便對植入過程進行精確控制。該模型具有復雜的診斷功能,可確保快速高效地解決出現的任何問題。總體而言，EATON NOVA-GSD-HE提供了精確、可靠和可重復的植入過程，是實現精確、精確設備制造產量的重要因素。它提供了先進的功能，以及可靠和高效的操作，使其成為任何半導體設備設置中必不可少的元素。